Вакуумные насосы Ulvac серии MS

Серия MS - это вакуумный насос, который относится к категории сухих вакуумных насосов винтового типа.

Коррозионная стойкость и порошковая вытяжка улучшены как модель сопротивления процессу на основе традиционной серии LS. Эта модель разработана для процесса использования коррозионного газа и отвода порошка.

Особенности

• Устойчивость к коррозии благодаря специальному покрытию основных частей, таких как вал ротора и цилиндр
• Высокая производительность отвода порошка за счет применения вала ротора уникальной конструкции ULVAC
• Реализация непрерывной перекачки при атмосферном давлении

Области применения

• Вакуумная система для оборудования по производству полупроводников и электронных устройств
• Травление, озоление, плазменная очистка и т.д.
• Вакуумная система для печей. Спекание, науглероживание и т.д.
• Вакуумная система для оборудования по производству литий-ионных аккумуляторов. Сушка электродов, дегазация, нагнетание вакуума и т.д.
• Вакуумная система для медицинских и пищевых продуктов. Сублимационная сушка, вакуумная сушка и т.д.